通過將高產(chǎn)量與優(yōu)異的涂層效果相結(jié)合,該設(shè)備能夠使工業(yè)能夠滿足“準(zhǔn)時”制造的要求。它是一種批次式濺射系統(tǒng),能夠處理大型基板的金屬化,并提供多種鍍膜工藝,包括彩色涂層、灰色調(diào)和等離子體增強(qiáng)系統(tǒng)。
旋轉(zhuǎn)式前門設(shè)計,生產(chǎn)效率高
旋轉(zhuǎn)式前門允許高生產(chǎn)率的加工和裝卸順序。基板可便捷加載到掛架或公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架
廣泛應(yīng)用的靈活濺射系統(tǒng)
用于金屬高速沉積的磁控濺射沉積,以及用于沉積金屬氮化物或金屬氧化物層的反應(yīng)磁控濺射。
?先進(jìn)的MF(中頻)PECVD沉積源允許沉積透明的面漆和增強(qiáng)的耐擦拭層。
高效的抽油機(jī)易于操作
進(jìn)一步的關(guān)鍵要素是高效真空泵系統(tǒng),包括有效的冷凍盤管系統(tǒng)和靈活的工藝氣體管理系統(tǒng)。